中文会议： 2008中国仪器仪表与测控技术进展大会论文集（Ⅱ）

会议地点： 湖南湘潭

出版方 ： 中国仪器仪表学会、《仪器仪表学报》杂志社、《国外电子测量技术》杂志社、《电子测量技术》杂志社

作　　者： ; ; ;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院

出　　处： 《2008中国仪器仪表与测控技术进展大会》

摘　　要： 针对气体质量流量自动控制器控制精密小流量在环测仪器中的应用越来越多,且目前对这种器件的研究较少的情况,本文详细介绍了DSN型气体质量流量控制器和DSN-2000气体质量积算仪的原理和系统构成,并对其性能进行了评测试验。结果表明国产的气体质量流量自动控制器精度高、稳定性好、流量控制范围宽、响应速度快,研究表明流量控制的稳定性随控制流量的增大而降低,流量控制的精度随控制流量的增大而升高。因此在设定控制

关 键 词： 流量控制 性能测评 比例采样

分 类 号： [TH814]

领　　域： [机械工程] [机械工程]