中文会议： 2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集

会议日期： 2009-11-07

会议地点： 江苏镇江

出版方 ： 中国仪表功能材料学会、江苏大学、《功能材料》期刊、《功能材料信息》期刊

作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 华南师范大学化学与环境学院

出　　处： 《2009中国功能材料科技与产业高层论坛》

摘　　要： 探讨了采用ICP-AES法同时测定多晶硅中的Fe、Al、Ca、Mn、Cu、Cr、Ni、Ti、Zn、As、P、B等12种杂质元素,该方法测定的元素相对标准偏差(RSD)均<2.4%,回收率为92%～104.8%,方法检出限低,测定结果准确可靠。

关 键 词： 多晶硅 杂质 测定

分 类 号： [O657.31 O613.72]

领　　域： [理学] [理学] [理学] [理学]