中文会议： 第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会会议摘要集

会议日期： 2013-08-15

会议地点： 上海

出版方 ： 中国力学学会等离子体科学与技术专业委员会、中国物理学会等离子体物理分会、中国核科学核聚变与等离子体物理学会

作　　者： ; ; ;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院

出　　处： 《第十六届全国等离子体科学技术会议暨第一届全国等离子体医学研讨会》

摘　　要： 利用朗缪尔双探针对电子束蒸发镀膜装置反应室的等离子体参数进行诊断。绘制等离子体的双探针伏安特性曲线,计算出电子温度和等离子体密度。结合光谱测量分析了气压、射频功率对其参数的影响。研究了等离子体的分布规律。结果表明:A.离子源口的离子密度大,分布不均匀,远离的离子密度小但是分布均匀适合蒸镀;B.在低气压下,离子密度随气压增加而缓慢增加,电子温度逐渐减小;C.离子密度随射频功率增大而增大,电子温度几乎

关 键 词： 朗缪尔双探针 电子温度 等离子体密度 光谱测量

分 类 号： [O536]

领　　域： [理学] [理学]