中文会议： 广东省真空学会2011年学术年会论文集

会议日期： 2011-12-01

会议地点： 广东中山

出版方 ： 广东省真空学会(Guangdong Vacuum Society)

作　　者： ; ; (苏东艺）; (贺祖发）; (田君）;

机构地区： 华南理工大学材料科学与工程学院

出　　处： 《广东省真空学会2011年学术年会》

摘　　要： 采用纯金属靶和多弧离子镀技术在M2高速钢基体上制备Cr-Al-N涂层,采川扫描电镜（SEM）、能谱仪（EDS）及X射线（XRD）研究了制备工艺对涂层成分及组织结构的影响。结果表明,调制Al靶、Cr靶电流比IAl/ICr可以制备Cr1-xAlxN涂层,且其中x可以在0.150.6间变化。所制备Cr1-xAlxN涂层品体结构均呈现面心立方结构fcc-CrN。随着I(Al

关 键 词： 多弧离子镀 靶电流 成分 组织结构

分 类 号： [TG174.4]

领　　域： [金属学及工艺] [金属学及工艺]