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文献详细Journal detailed

PHEMT器件界面态分析方法

中文会议: 2007’第十二届全国可靠性物理学术讨论会论文集

会议地点: 四川都江堰

出版方 : 中国电子学会可靠性分会、中国电子学会电子元件分会、中国电子学会半导体与集成技术分会、中国电子学会电子材料分会、广东省电子学会

作  者: ; (黄云); (李斌);

机构地区: 华南理工大学理学院

出  处: 《2007’第十二届全国可靠性物理学术讨论会》

摘  要: 本文介绍了 PHEMT 器件的结构,界面态对 PHEMT 器件影响的现象和机理,并主要从直流特性,击穿电压和栅延时等方面研究界面态对 PHEMT 器件的影响,最后针对界面态总结了界面态分析方法,包括:通过沟道峰值电场和碰撞电高率来研究界面态密度;二维量子模型模拟法;根据跨导随频率变化来测量界面态密度法.

关 键 词: 界面态 界面态分析

领  域: [电子电信]

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