中文会议： 首届中国功能材料及其应用学术会议论文集

会议日期： 1992-10-26

会议地点： 中国广西桂林

出版方 ： 中国仪器仪表学会仪表材料学会、八六三计划新材料领域功能材料专家组、中国材料研究学会（CMRS）、中国电子学会电子材料学学会、中国金属学会材料科学学会、中国物理学会发光分会、中国光学学会光学材料专业委员会、机电部重庆仪表材料研究所、《功能材料》编辑部

作　　者： ; ; ;

机构地区： 合肥工业大学应用物理系

出　　处： 《首届中国功能材料及其应用学术会议》

摘　　要： 本文采用HFCVD方法,在丙酮、氧气和氢气系统下,用Si片作衬底沉积金刚石薄膜,Raman谱分析表明膜几乎不含石墨和非晶碳,当丙酮浓度为2.5vol%,混合气体中碳氧原子比为1.5时,生长速率约为1.5μm/h。讨论了碳氧原子比及衬底温度对金刚石薄膜质量的影响。

关 键 词： 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 丙酮 碳氧原子比

分 类 号： [TB383.2]

领　　域： [一般工业技术]