导　　师： 莫党

学科专业： H03

授予学位： 博士

作　　者： ;

机构地区： 中山大学

摘　　要： 本文对椭偏技术的历史、应用、发展趋势、基本原理、测量方法和数据分析等几个方面进行了描述,介绍了椭偏仪的种类和国内外研制、生产的部分椭偏仪,在综合各种类型椭偏仪的基础上,根据我们的实际情况,研制了一台新型的自动化椭偏仪,并利用椭偏技术对功能碳膜的结构和血液相溶性进行了分析,主要工作如下:1.研制了一台新型的自动化椭偏仪,在软件编制方面,采用了C语言和WINAPI混合编程的方法,使程序既有较高的可靠性又有较快的执行速度,并且不受硬件升级的影响,较好地保护了软件投资.设计了友好的人机对话界面,简化了仪器的操作,提高了自动化程度,使仪器易学易用.在硬件设计方面,取消了国内常用的A/D转换卡,采用数字通讯技术,直接从锁相放大器中读取数据,简化了硬件设计,提高了精度,增加了可靠性.仪器的测厚最小值10A,入射角5°~85°,被测物体最大直径35MM,最小直径5MM,测量波长范围330~650NM,重复性精度:TANΨ为±0.0004,COS△为±0.0012.测量了不同衬底偏压下所制备功能碳膜材料的椭偏谱,并用FOROUHI-BLOOMER模型拟合出样品的折射率谱,发现随着衬底偏压的升高,功能碳膜的折射率先单调上升,到最大值后,再单调下降.用BRUGGEMAN有效介质近似模型(EMA)拟合出上述样品的SP<'3>C成分的相对百分比,发现随着衬底偏压的升高,功能碳膜的SP<'3>C成分的相对百分比先单调增加,到最大值后,再单调减少.用动态凝血时间和血小板粘附实验检验上述样品的血液相溶性,发现合适SP<'3>C与SP<'2>C成分比例的功能碳膜具有良好的血液相溶性.

关 键 词： 椭偏光谱仪 软件 硬件 功能碳膜 结构 血液相溶性 衬底偏压

领　　域： [机械工程] [机械工程] [机械工程] [自动化与计算机技术] [自动化与计算机技术]