作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院

出　　处： 《华南师范大学学报（自然科学版）》 2004年第2期72-76,共5页

摘　　要： 采用ICP等离子体化学气相沉积技术,用硅烷和氮气为反应气体合成氮化硅纳米粉体.利用朗缪尔探针诊断了反应室内等离子体参数,得到不同位置、不同功率和不同气压下等离子体密度的变化规律,等离子体密度随着功率的增大而增大,随着气压的升高而减小,由于离子鞘层的存在,提供了局部等离子体密度稳定的区域.利用傅立叶红外光谱仪分析了氮化硅纳米粉体红外光谱和键态结构的特性,结果表明:氮化硅的表面特性和纳米材料的表面效应导致富氧层的存在. The Si_3N_4 nanopowder was prepared by means of ICPECVD and decomposing of SiH_4 and N_2. The ion density in the reaction chamber was diagnosed by a Langmuir probe. The rules were obtained under different air pressure, different radio frequency power and different position which the ion density decreases as the pressure increases and increases as the power decreases. Because of the ion sheath, the area emerges where the ion density is symmetrical. Analysis by Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) reveals the FTIR characteristic and bonding characterization of Si_3N_4. The results indicate that surface oxygen-rich layer emerges because of the surface characteristics and the surface effect of nano-materials.

关 键 词： 纳米粉体材料 氮化硅 制备技术 红外光学特性 等离子体化学气相沉积 陶瓷材料

领　　域： [一般工业技术] [化学工程] [化学工程]