作　　者： ; ;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院物理系

出　　处： 《现代科学仪器》 2003年第4期42-44,共3页

摘　　要： 介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法和干涉法测量薄膜厚度和折射率的基本原理和仪器组成 ,并分析了它们的特点及存在问题 ,指出选择测量方法和仪器应注意的问题。 The basic principles and instruments of ellipsometry, prism coupling and interferometry are introduced in the paper.The characteristics and problems of the methods are analyzed. The keys to choose the instruments are also given out.

关 键 词： 椭圆偏振法 棱镜耦合法 干涉法 膜厚 折射率

领　　域： [理学] [理学]