作　　者： ; ; ; ; (张忠文）;

机构地区： 云南师范大学能源与环境科学学院云南省农村能源工程重点实验室

出　　处： 《云南师范大学学报（自然科学版）》 2003年第4期25-33,共9页

摘　　要： 用快速热处理 ( RTP,Rapid Thermal Processing,)制备太阳电池 p-n结开辟了一种新的低成本技术。这些年许多科研机构对 RTP系统的设计、RTP快速扩散模型、RTP制作器件做了深入的研究。文章主要介绍了 RTP快速扩散模型和回顾了 RTP硅太阳电池的发展过程 ,提出了 RTP硅太阳电池研究的一些发展方向。 Rapid thermal processing (RTP) for junction formation is emerging as low cost technique for solar cells as well as for other semiconductor device production. These years, many people have been researching RTP furnace, RTP diffusion model, and RTP semiconductor device production. The paper reviewed research evolution on RTP history, RTP system, and RTP silicon solar cells including research situation and techniques.

关 键 词： 硅太阳电池 研究进展 快速热处理 快速扩散模型 制作工艺 扩散机理

领　　域： [电气工程]