作　　者： ; ; (廖秉良）;

机构地区： 华南师范大学物理与电信工程学院物理系

出　　处： 《华南师范大学学报(自然科学版)》 1989年第1期

摘　　要： 采用TiO2和SiO2的金属烃氧基在乙醇溶液中进行水解反应,制成胶状非晶态物质溶液.用浸渍法在玻璃基底上制备出多层TiO2/SiO2介质复合膜.它具有涂膜设备和工艺简单,成本低等特点.作者对溶液配制、涂膜工艺和膜的结构进行了初步研究.由实验得出膜厚d与溶液浓度C及提拉速度V的关系;给出了膜厚随其热处理温度的变化;并用扫描电镜对膜的表面结构进行了分析.

关 键 词： 金属有机溶液 介质复合膜 浸渍提拉法 焙烧温度 薄膜厚度