作 者：
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机构地区：
中国科学院金属研究所
出 处：
《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》
2001年第10期1099-1104,共6页
摘 要：
超薄Ti膜介电函数与薄膜厚度及外加电场频率的关系表明:超薄Ti膜的介电函数具有尺寸效应;超薄Ti膜介电函数实部随外加电场频率的增大而减小,对比超薄Ti膜直流电导率的实验结果,超薄薄膜形成过程中结构特征变化是导致介电函数尺寸效应的主要原因。
关 键 词：
超薄钛膜
介电函数
尺寸效应
薄膜厚度
电磁频率
直流电导率
电磁特性
领 域：
[理学]
[理学]
