作　　者： ; ;

机构地区： 广东工业大学

出　　处： 《工具技术》 1999年第11期3-7,共5页

摘　　要： 综述了国内外ＣＶＤ 金刚石膜抛光技术的最新进展，介绍了不同抛光方法的加工机理以及工艺性能和特点。 The update development of polishing technology on CVD diamond films is summarized. The processing mechanism of different polishing means as well as their performances and behaviors are introduced.

关 键 词： 金刚石膜 化学抛光 机械抛光 化学机械抛光

领　　域： [金属学及工艺]