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文献详细Journal detailed

软X射线光学多层膜

作  者: ; ;

机构地区: 天津大学理学院物理系

出  处: 《科学通报》 1999年第8期785-792,共8页

摘  要: 评述了软X射线光学多层膜的结构设计、结构评价以及结构稳定性的研究现状 。

关 键 词: 射线光学 多层膜 结构设计 结构稳定性

领  域: [理学] [理学] [机械工程] [理学] [理学]

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