作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院沈阳自动化研究所机器人学国家重点实验室

出　　处： 《中国科学（E辑）》 2009年第9期1614-1622,共9页

摘　　要： 探针阳极氧化是构建纳米结构,制造纳米器件的重要技术之一,本文对该技术中基于原子力显微镜(AFM)的阳极氧化进行了新的研究.通过对氧化加工中微观电场在基底表面分布情况进行模拟,分析了氧化结构的特征与电场分布的关系,通过实验研究分析了不同加工因素对氧化加工的影响.在这些研究基础上利用AFM阳极氧化技术实现了对碳纳米管(CNT)的氧化切割及焊接,为CNT基纳米器件的装配及制备提供了新的技术途径.

关 键 词： 阳极氧化 原子力显微镜 纳米加工 切割与焊接 碳纳米管

领　　域： [一般工业技术] [化学工程]