可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 电子部
出 处： 《电子产品可靠性与环境试验》 1998年第3期26-29,共4页
摘 要： 本文对CMOS集成电路工艺评价及可靠性评估电路规范设计技术进行了详细的论述，包括评估电路图形库的建立、版图布局的规范设计、测试试验方法规范化等，使工艺评价PCM和可靠性评估REM测试结构发展成为工艺监测、工艺控制和可靠性评估的实用技术。
关 键 词： 规范设计 可靠性
领 域： [电子电信] [电子电信]
