作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院广州能源研究所

出　　处： 《清华大学学报（自然科学版）》 2009年第2期269-272,共4页

摘　　要： 为深入研究微电子原件表面沸腾换热中存在的问题,对脉冲加热条件下影响气泡动力学的因素进行了研究。以不同主流流速下微加热器表面产生的气泡为对象,进行实验。以100μm×20μm的长方形铂膜为加热表面,发现了3种典型的气泡型态:1)单气泡;2)大气泡中分裂出小气泡;3)加热膜上先后产生大小气泡。此外对气泡脱离加热膜后的合并现象以及影响气泡脱离直径的因素进行了研究,发现加热功率和脉冲频率是影响气泡动力学的主要因素。 The bubble dynamics on a pulsed film microheater were experimentally investigated. The heater was a 100 μm × 20 μm rectangular platinum film. The three typically observed bubble patterns were an ellipsoidal single bubble, a small bubble generated from a larger one, and a large bubble and several small bubbles initiated in succession. The bubbles tended to be attracted away from the heating surface with the heating power and pulse frequency strongly affecting the bubble departure diameter.

关 键 词： 气泡动力学 微尺度 微加热器 脉冲加热 沸腾

领　　域： [动力工程及工程热物理] [动力工程及工程热物理]