作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室

出　　处： 《激光与光电子学进展》 2009年第2期21-21,共1页

摘　　要： 近年来，飞秒激光南于其超快时间特性和超高峰值功率特性在精密微纳加工领域引起了人们极大的兴趣。利用飞秒激光在透明材料内部实现微光学、微电子、微流体等多功能的集成得到越来越多的重视.

关 键 词： 飞秒激光 光集成 铌酸锂 微纳加工 功率特性 时间特性 透明材料 微光学

领　　域： [电子电信] [电子电信] [电子电信]