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Fe离子注入α-Al_2O_3单晶注入态和还原气氛退火态的微观结构
Microstructure of α-Al_2O_3 implanted with iron at room temperature and annealed in a reducing atmosphere

作  者: ; ; ; ;

机构地区: 大连理工大学材料科学与工程学院

出  处: 《电子显微学报》 2008年第4期287-292,共6页

摘  要: 本文利用透射电子显微术,研究了注入Fe离子的-αAl2O3单晶(sapphire)在还原气氛退火过程中微观结构的变化。研究表明,在还原气氛退火过程中,先前注入的Fe离子析出为-αFe纳米颗粒。一些-αFe颗粒周围存在空洞,而一些大的-αFe颗粒呈现出多面体的轮廓。大部分-αFe析出相与-αAl2O3基体具有如下取向关系:(111)-αFe∥(0001)sapphire,[110]-αFe∥[1120]sapphire。只有很少的-αFe析出相偏离该取向关系,而最大的偏离角小于3°。近重位倒易点阵分析表明:在-αFe和-αAl2O3体系中,该取向关系是最有利的;而在该体系中发现的另一取向关系(110)α-Fe∥(0001)sapphire及<111>-αFe∥<5 14 0>sapphire是次有利取向关系。 Fe ions were implanted into α-Al2O3. single crystals (sapphire) at energy, of 50 keV to a dose of 1×10^17 ions/cm^ 2 at room temperature. The mierostructure in the implanted region was studied by transmission electron microscopy. With annealing in a reducing atmosphere, the implanted Fe ions precipitate as the α-Fe particles. Some α-Fe particles are attached to voids. The large iron particles greater than 20 nm and some voids clearly have faceted outlines. Most of the α-Fe particles have the orientation relationship (OR) of ( 111 )α-Fe// (0001)sapphire. and[ 1 1^-0]α-Fe//[ 11 2^-0]sapphire with sapphire. Only a small quantity of the α-Fe particles have the deviation from this OR and the maximum deviation is less than 3°. This OR is predicted precisely by the method of coincidence of reciprocal lattice points. Another OR of (110).α-Fe//(0001)sapphire and 〈 111 〉 α-Fe// 〈 5 1^- 4^-0 〉 sapphire reported before is confirmed to be secondary preferred orientation in the α-Fe/ sapphire system.

关 键 词: 单晶 离子注入 透射电子显微术 近重位倒易点阵

领  域: [理学] [金属学及工艺] [金属学及工艺]

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