作　　者： ; ; ; ; ; ; ; ;

机构地区： 广东工业大学材料与能源学院

出　　处： 《金刚石与磨料磨具工程》 2007年第1期78-82,共5页

摘　　要： 本文重点对近年硬质合金基体表面预处理方法及其对CVD金刚石膜沉积的影响进行了综述。按其原理来分,预处理方法可分为物理预处理法、化学预处理法以及中间层法。大量实验结果表明通过适当的预处理能有效消除或抑制基体中钴黏结相的负面影响,提高金刚石的形核密度以及膜基结合力,从而获得理想的薄膜质量。 The pretreatment methods of cemented carbide substrate and their effects on CVD diamond film were mainly summarized. The methods could be divided into physical pretreatment methods, chemical pretreatment methods and interlayers method according to their principles. Lots of experiment results showed that proper pretreatments could reduce the negative influences of Co binder phase in the substrates and improve the diamond nucleation and film adhesion, and this obtain ideal fdm quality.

关 键 词： 硬质合金 金刚石膜 预处理 形核密度 结合力

领　　域： [化学工程]