作　　者： ; ;

机构地区： 天津大学理学院物理系

出　　处： 《科学通报》 1996年第16期1463-1467,共5页

摘　　要： 观测多层膜的结构变化,使我们能够在非平衡条件下,研究材料间相互作用,测量原子扩散速率以及形成化合物的激活能。Gook和Hilliard,提出用X射线衍射可测量低至10^(-27)m^2·s^(-1)的互扩散系数。以前的测量工作主要集中在晶态和非晶态金属多层膜,而关于非晶态的金属/非金属多层膜中的互扩散行为的研究则报道较少。作为一种有效的X射线反射镜,Co/C多层膜已成功地应用于X射线望远镜。本文研究了在低温退火条件下,溅射沉积Co/C多层膜中的互扩散现象,并讨论有效扩散系数对调制波长的依赖关系。

关 键 词： 多层膜 互扩散系数 临界波长 钴 碳薄膜

领　　域： [理学] [理学]