作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 华南师范大学计算机学院

出　　处： 《电子技术应用》 2006年第8期90-93,共4页

摘　　要： 研究了ULSI热分析中考虑通孔自热效应后的有效热导系数的理论模型,详细计算了不同的通孔间距、通孔直径、通孔高度以及金属线宽对有效热导系数的影响。结果表明,考虑通孔自热效应后,使有效热导系数的计算更加符合实际情况,为进一步分析USLI的热学模型提供了理论依据。

关 键 词： 有效热导系数 通孔直径 通孔间距

领　　域： [动力工程及工程热物理] [动力工程及工程热物理]