作　　者： ; ; ;

机构地区： 五邑大学数学物理系

出　　处： 《材料导报》 2006年第F05期89-90,共2页

摘　　要： 采用射频磁控溅射法制备了纳米TiO2薄膜,并应用显微拉曼光谱和原子力显微镜对薄膜进行了检测。通过拉曼光谱研究,一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构,另一方面对薄膜的生长方式提供了线索。 Titania（TiO2 ） thin films are prepared by radio-frequency （RF） magnetron sputtering. The crystal structure and growth mode are studied by Raman spectrum and atomic force microscopy （AFM）.

关 键 词： 薄膜 磁控溅射 拉曼光谱 晶体结构 生长方式

领　　域： [一般工业技术] [理学] [理学]