作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 广东工业大学

出　　处： 《材料导报》 2005年第F05期51-54,共4页

摘　　要： 近年来，TiO2功能薄膜以其卓越的性能，尤其是优异的光催化性能，引起了国内外广泛关注。针对纳米TiO2功能薄膜气相沉积制备方法中影响TiO2薄膜结构的关键因素（如基体温度、退火温度、基片种类、氧分压、掺杂等）进行了系统总结，并介绍了其研究进展。 In recent years, TiO2 functional thin films have attracted many researchers attention for their excellent properties, especially their outstanding photocatalytic activity. This paper discusses in detail the key factors （ deposition temperature, oxygen pressure, annealing temperature, substrates, adulteration etc ） affecting the microstucture of nanometer TiO2 film prepared by vapor deposition. Research advance is also introduced.

关 键 词： 微观结构 纳米薄膜

领　　域： [理学] [理学] [理学] [理学]