作　　者： ; ; ;

机构地区： 华中科技大学机械科学与工程学院

出　　处： 《湖北工业大学学报》 2005年第5期1-5,共5页

摘　　要： 概述了微机电系统(MEMS)的发展历史及基本技术原理,介绍了MEMS技术在航空航天、医药卫生、光学器件、微能源等方面的应用情况,并对其以后的发展作出展望. This paper summarizes the history and basic principles of MEMS, introduces the application of MEMS and looks at the prospect for the development of MEMS.

关 键 词： 微机电系统

领　　域： [电子电信]