作　　者： ; ;

机构地区： 电子部

出　　处： 《电子产品可靠性与环境试验》 1995年第3期7-9,共3页

摘　　要： 引言 针对集成电路成品的传统试验方法只能评价某一具体型号集成电路的可靠性,对其它型号集成电路可靠性的评价,即使工艺相同,也必须重复类似的试验,随着VLSI的迅速发展,在技术、时间和经济上,采用成品试验的方法遇到很大障碍。本文研究了一种新的方法——VLSI工艺可靠性评价方法。它是对合格产品表的发展。其出发点是:对某一工艺,只要通过了严格的可靠性评价,则采用该工艺制造的各种型号的集成电路也相应通过了可靠性评价。该方法包括下述四方面的内容。

关 键 词： 集成电路 工艺 可靠性 评价

领　　域： [电子电信]