作　　者： ; ; ; ; ; ;

机构地区： 北京大学物理学院技术物理系

出　　处： 《低温物理学报》 1995年第3期179-184,共6页

摘　　要： 利用电学测量方法结合二次离子质谱（ＳＩＭＳ）技术对金属Ａｇ和Ａｌ与ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ（７－ｘ）（ＹＢＣＯ）超导薄膜接触界面电学性质和互扩散特征进行了测试分析．分析结果显示由于Ａｇ和Ａｌ具有不同的化学性质，二者与ＹＢＣＯ界面的互扩散特性有明显不同．这些不同影响到接触界面的电学性质和接触窗口下ＹＢＣＯ的超导性能．在Ａｇ／ＹＢＣＯ样品中，在高于３５０℃以上的温度下氧气氛中退火将引起Ａｇ和Ｏ的界面互扩散，但对ＹＢＣＯ体内Ｏ的分布及ＹＢＣＯ的超导性能影响不大，且有利于在界面形成好的电学接触；在Ａｌ／ＹＢＣＯ样品中，在高于３５０℃以上的温度下氧气氛中退火后，界面则主要发生Ｏ向Ａｌ膜体内的扩散，并在Ａｌ和ＹＢＣＯ界面生成一不导电的氧化层，这些将影响到ＹＢＣＯ体内Ｏ的分布和接触窗口下的ＹＢＣＯ的超导性能．在合适的退火条件（约５００℃氧气氛中）下退火，Ａｇ与ＹＢＣＯ将形成小的接触电阻，利用剥离工艺制备的样品，其界面接触电阻率ρ（ρｃ＝Ｒ×Ａ）高于是１０（－６）Ωｃｍ２． Abstract In this paper, we analyze the interfacial electrical properties and inter diffusion features of Ag/YBa2Cu3O7-x (YBCO) or Al/YBCO using electrical measure methods and Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS). The results showed that those interfacial properties of Ag/YBCO contacts were different from Al/YBCO and annealing in oxygen atom erpheres would influence them. For Ag/YBCO contacts, when annealing temperature was above 350℃.the I-V characteristic and temperature-dependent contact resistance properties showed ohmic behaviors,and obvious inter diffusions of silver and oxygen were observed ; For Al/YBCO contacts,however,when annealing temperature was above 350℃, obvious oxygen diffusion but less obvious aluminium diffusion was observed. Besides, not only an insulating layer was formed in the interface but also the superconducting properties of YBCO underthe contacts were varied.

关 键 词： 银 超导体 超导薄膜

领　　域： [理学] [理学] [电气工程] [一般工业技术]