作　　者： ; ; ; ;

机构地区： 西安建筑科技大学材料学院

出　　处： 《功能材料与器件学报》 2005年第1期6-10,共5页

摘　　要： 采用柠檬酸盐作为胶体颗粒的稳定剂,制备出稳定性能良好的金属钌薄膜前躯体溶液。当稳定剂和起始金属钌离子物质的量比为5:1时,制备的前躯体溶液中纳米金属颗粒具有较好的分散性,这种在低于200oC的温度下通过湿化学方法在玻璃表面制备出金属钌薄膜透过率可达80.54%,方块电阻为6×103Ω/cm2,金属钌薄膜在可见光范围内没有选择性吸收。薄膜厚度增加时,薄膜的方块电阻下降。 Metallic Ru films on the glass surface were prepared by wet chemical route. The precursor solution stabilized by citrate was synthesized firstly. Nano Ru particles are dispersed when the molar ratio of citrate and ruthenium ions in the solution is 5. When the surface resistance is 6 × 103Ω/cm2, the transmittance of the film is 80.5% in the visible wave band. The selective absorbed peak on the visible spectrum is not observed. And the resistance decreases when the film thickness increases.

关 键 词： 纳米钌 金属薄膜 化学工艺

领　　域： [理学] [理学]