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衬底温度对激光原位生长(Bi,Pb)_2Sr_2CuO_x薄膜特性的影响
INFLUENCES OF SUBSTRATE TEMPERATURE ON CHARACTERISTIC OF IN SITU GROWN (Bi, Pb) _2Sr_2CuO_x THIN FILMS

作  者: ; ;

机构地区: 北京大学

出  处: 《低温物理学报》 1994年第6期417-424,共8页

摘  要: 利用激光沉积技术,在SrTiO3和Y-ZrO2衬底上原位制备了(Bi,Pb)2Sr2CuOx薄膜.当衬底温度为Ts=703℃,氧分压为100mtorr时,X射线显示,生长的2201相(Bi,Pb)2Sr2CuOx薄膜具有C轴垂直于衬底表面的外延取相.我们对衬底温度与薄膜结构,晶格常数,和薄膜电阻率的影响,进行了研究. Abstract Bi,Pb)2Sr2CuOx thin films have been in Situ deposited on SrTiO3 and Y-ZrO2 substraies by laser ablation technique.At substrate temperature of Ts= 703℃ at the oxygen pressure of 100 mTorr, epitaalal growth of 2201 phase (Bi,Pb)2Sr2CuOx films with c-axis perpendicular to the substrate surface has been achieved.Influences of the substrate temperature on the structure,lattice constant and resistivity of the as-grown films have been studied.

关 键 词: 衬底 激光原位生长 薄膜 特性 衬底温度

领  域: [理学] [理学]

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