作　　者： ; ;

机构地区： 北京大学物理学院技术物理系

出　　处： 《微细加工技术》 1993年第2期60-71,共12页

摘　　要： 本文较系统地介绍了高温超导薄膜的制备方法与生长机理,讨论了生长工艺与薄膜超导性能之间的关系,并对高温超导薄膜的异质外延、多层膜结构及超晶格制备等一些最新进展作了介绍。 The deposition methods and the epitaxial growth mechanism of high-To superconducting thin films are systematically described. Discussion is presented emphasizing the relationship of deposition conditions and superconducting properties of the films. Recent developments of heteroepitaxial growth, multilayer structure and the preparation of superlattics in highTo superconducting thin films are also introduced.

关 键 词： 高温 超导薄膜 外延生长 氧化物

领　　域： [电气工程] [一般工业技术]