可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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机构地区： 广东工业大学
出 处： 《机电工程技术》 2004年第12期50-51,共2页
摘 要： 本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合“流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工”理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备。试验表明该装备是切实可行的。
关 键 词： 流体 抛光 装备 探讨
领 域： [金属学及工艺]
