可检索词： （英文）题名=T 作者=A 关键词=K 摘要=R 机构=O 主题=S 刊名=M 分类号=N
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中图分类号： 选择
作 者： ; ; ; ; (孙蓉）;
机构地区： 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室
出 处： 《电子显微学报》 2003年第6期516-517,共2页
关 键 词： 单晶 表面微观磨损机理 扫描电子显微镜 硅材料 表面光洁度 集成电路技术
领 域： [理学] [理学] [电子电信]
