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抗反射亚波长光栅的特性研究

作  者: ; ; ; ;

机构地区: 四川大学物理科学与技术学院物理学系

出  处: 《大连理工大学学报》 1997年第S2期97-97,共1页

摘  要: 抗反射亚波长光栅的特性研究王植恒傅克祥文军王磊(四川大学物理系成都610064)本文利用矢量衍射理论的数值求解方法,研究了亚波长光栅结构参数(光栅深度、基底厚度、占空比、光栅周期)对反射率的影响,发现不仅光栅深度、占空比、光栅周期对反射率存在影响,而...

关 键 词: 亚波长光栅 抗反射 结构参数 反射率 二元光学元件 矢量衍射理论 基底厚度 占空比 光栅周期 亚波长结构

领  域: [电子电信]

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