作　　者： ; ; ; ; ;

机构地区： 重庆大学

出　　处： 《中国机械工程》 2005年第z1期227-230,共4页

摘　　要： 提出一种基于微悬臂梁结构的新型闪耀式光栅光调制器,介绍其结构组成及工作原理.建立了器件的两种假设受力模型Ⅰ、模型Ⅱ,根据极小势能原理推导出器件变形方程,通过瑞利-里茨法则得出器件的固有频率,从理论上分析器件的结构尺寸、材料性能对吸合电压、固有频率的影响.最后通过Coventorware软件对器件进行机电耦合仿真,通过对比,模型Ⅱ更为合理,分析结果为器件的制造提供了理论依据.

关 键 词： 微光机电系统 光栅光调制器 悬臂梁 机电特性

领　　域： [电子电信]