作　　者： ; ; ;

机构地区： 华南理工大学理学院应用物理系

出　　处： 《华南理工大学学报（自然科学版）》 1997年第7期36-40,共5页

摘　　要： 根据气敏光学特性的要求，用可控气压喷涂和高温处理的新方法，制成ＳｎＯ２膜。膜面平整均匀，晶粒结构细密，缺陷较少，其光学特性比其它方法制成的薄膜好，使用的设备及工艺简单。 By a novel process of high_temperature treatment and controlled pressurized spray coating,SnO 2 films are prepared which possess the gas_sensitive optical properties,have smooth surfaces,fine grain textures and fewer defects,are superior to other films prepared by other processes,and can be prepared by relatively simple equipment and technology.

关 键 词： 气敏 喷涂 热处理 薄膜 光学特性

领　　域： [电子电信]